一文全面了解PECVD，PECVD 2023-11-24 10:33:29 0 0 等离子增强化学气相淀积(PECVD：Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition),在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。 （来源：微信公众号“摩尔光伏”ID：molepv） [换行]等离子增强化学气相淀积(PECVD：Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition),在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。 （来源：微信公众号“摩尔光伏”ID：molepv） [换行] [换行] [换行] [换行] [换行] 收藏（0）