北极星编辑推荐（二十二）：十大扩散炉企业，扩散炉

扩散炉是太阳能电池片生产过程中的重要设备。纵观太阳能电池的发展史，提高光电转换效率、降低生产成本和能耗，毋庸置疑的成了加快太阳能电池推广的关键技术。而作为太阳能电池片形成P-N结的核心组件，扩散炉的质量直接影响到电池片的性能。

北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量（非静态指标）列出了国内前十名扩散炉制造商，仅供参考。

1、中国电子科技集团公司第四十八研究所

中国电子科技集团公司第四十八研究所成立于1964年，位于中国•湖南•长沙，占地224亩。国家级微电子、太阳能电池、光电材料、电力电子、磁性材料专用设备的研发及生产专业机构。国内主要半导体设备供应基地、最大的太阳能电池制造和电子工业窑炉供应基地、应变式薄膜压力传感器国家高新技术产业化示范工程基地。拥有一流的设计及加工手段，为科技部授牌的全国CAD应用工程示范单位。

中国电子科技集团第四十八研究所现有职工800人左右，其中研究员级高工17人，高级工程师81人，工程师287人，国家级有突出贡献科技专家19人。

中国电子科技集团第四十八研究所连续承担国家微电子、光电子重大科技攻关项目，始终走在行业科技发展的最前端。产品已出口到欧、亚市场，累计向国内外用户提供了5000多台（套）大型关键设备，国内相关行业的领航级企业均为我们的客户。

中国电子科技集团第四十八研究所已实施2000版ISO9001及GJB9001质量管理体系，是通过质量保证体系认证的国内电子专用设备厂家。

中国电子科技集团第四十八研究所数十年来，四十八所始终立足于行业科技发展的前端，共取得重大科研成果138余项，其中填补国内空白项目32项，达到国际先进水平42项，列为国家替代进口项目14项。共获国家科技进步奖和国家发明奖等省、部级以上科研成果奖97余项。

扩散炉是太阳能电池片生产过程中的重要设备。纵观太阳能电池的发展史，提高光电转换效率、降低生产成本和能耗，毋庸置疑的成了加快太阳能电池推广的关键技术。而作为太阳能电池片形成P-N结的核心组件，扩散炉的质量直接影响到电池片的性能。

北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量（非静态指标）列出了国内前十名扩散炉制造商，仅供参考。

1、中国电子科技集团公司第四十八研究所

中国电子科技集团公司第四十八研究所成立于1964年，位于中国•湖南•长沙，占地224亩。国家级微电子、太阳能电池、光电材料、电力电子、磁性材料专用设备的研发及生产专业机构。国内主要半导体设备供应基地、最大的太阳能电池制造和电子工业窑炉供应基地、应变式薄膜压力传感器国家高新技术产业化示范工程基地。拥有一流的设计及加工手段，为科技部授牌的全国CAD应用工程示范单位。

中国电子科技集团第四十八研究所现有职工800人左右，其中研究员级高工17人，高级工程师81人，工程师287人，国家级有突出贡献科技专家19人。

中国电子科技集团第四十八研究所连续承担国家微电子、光电子重大科技攻关项目，始终走在行业科技发展的最前端。产品已出口到欧、亚市场，累计向国内外用户提供了5000多台（套）大型关键设备，国内相关行业的领航级企业均为我们的客户。

中国电子科技集团第四十八研究所已实施2000版ISO9001及GJB9001质量管理体系，是通过质量保证体系认证的国内电子专用设备厂家。

中国电子科技集团第四十八研究所数十年来，四十八所始终立足于行业科技发展的前端，共取得重大科研成果138余项，其中填补国内空白项目32项，达到国际先进水平42项，列为国家替代进口项目14项。共获国家科技进步奖和国家发明奖等省、部级以上科研成果奖97余项。

2、深圳丰盛装备股份有限公司

深圳丰盛装备股份有限公司(原深圳市大族光伏科技股份有限公司)位于深圳高新技术产业园，成立于2010年1月，注册资金5000万元，由一批一流的资深电子装备专家创办，拥有多项国家发明专利和计算机软件著作版权，专注于高端太阳电池生产设备、半导体设备、LED设备及节能环保设备的研发与生产。

丰盛装备的核心团队成员多具有十五年以上的从业经历，有深厚的泛半导体尤其是太阳能光伏设备及工艺研发生产经验，熟悉半导体太阳电池制造工艺相关设备国际技术发展的最新动向，和业内众多知名企业有长期紧密的合作关系，深知国内客户的技术发展需求。

丰盛装备技术团队参与和见证了中国光伏产业的兴起和发展，为国产泛半导体设备的进步和壮大坚持不懈地努力推动。HDS320系列柔性密闭扩散炉和HPE400系列PECVD，以第三代设备为基础，在性能、外观、可靠性、新工艺适应性等方面全面得以提升，引领国产设备进入全新的第四代。

丰盛装备凭借雄厚的研发实力及对相关设备和工艺的持续深度探索，独创Unimp方阻均匀性提升技术，一举攻克困扰业界十多年的技术难题，引领国产扩散设备进入高方阻扩散时代。PID-free技术助客户产品升级，满足更严格的市场需求。同时推出N型电池扩散设备、插片自动化设备、全自动硅片及电池片分选设备、背面钝化镀膜设备、新概念新型高温烧结设备等新产品，并为客户提供全套的设备技术升级解决方案。

3、北京七星华创电子股份有限公司

北京七星华创电子股份有限公司（简称“七星电子”）传承五十多年电子装备及元器件的生产制造经验，于2001年9月成立。公司坐落于中关村高科技产业开发区“电子城科技园”，是一家以集成电路制造工艺技术为核心，以大规模集成电路制造设备、混合集成电路和电子元件为主营业务，集研发，生产，销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。

七星电子是中国电子专用设备工业协会理事长及中国电子元件协会副理事长单位，拥有优秀的技术研发团队，具备一流的生产环境，加工手段和检测仪器，是中国最大的电子装备生产基地和高端的电子元器件制造基地。与美国，法国，日本，韩国等多家国际知名公司有着长期的合作交流，并以优质的产品和优良的服务赢得了国内外客户的赞许和信赖。

2010年3月，七星电子在深交所成功上市，股票代码002371。

展望未来，七星电子将围绕核心技术，着力完善人才，资本，管理，技术等主要平台，不断提高核心竞争能力，向着成为具有国际竞争力的现代化企业的目标而不懈努力。

4、青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

青岛赛瑞达电子装备股份有限公司于2005年成立，是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家，是中国电子工业基础装备的重点骨干企业，属于国家高新技术企业，中国十强最具成长性半导体企业，青岛市最具成长性企业，青岛市创业明星企业，青岛市标准良好化AA级示范单位，青岛市创新型企业，青岛市优秀企业，中国电子专用设备工业协会会员。公司于2005年通过了ISO9001/2000质量管理体系认证，于2012年6月完成股份制改造，现有生产用地100亩，建筑面积4万余平方米，注册资本3100万。

公司主要产品有：半导体技术专用工艺设备，电子元器件专用工艺设备，集成电路工艺设备，太阳能电池片专用工艺设备，LED工艺设备，砷化镓工艺设备，纳米材料工艺设备，磁性材料工艺设备，航空航天及国家军工单位专用的工艺设备，产品种类多达两百多个，各种专利及著作权达四十多项。

赛瑞达公司技术力量雄厚，各类专业技术人员齐全，具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。公司始终坚持“质量是企业的生命，诚信是立足的根本，服务是发展的保障，不断创新是赛瑞达永恒的追求”的经营理念，通过全体员工的不懈奋斗公司已成长为国内综合实力最强的半导体工艺装备制造企业，技术水平已达到国际一流水准，产品覆盖全国31个省、市、自治区、直辖市，并出口到美国、欧洲、亚洲等数个国家和地区。

5、北京晶伏华控电子设备有限公司

北京晶伏华控电子设备有限公司坐落于北京市中关村科技园昌平园区，公司由一支具有丰富技术经验和敬业精神的优秀团队组成，致力于工业自动化系统的研发与推广，是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的综合性高新技术企业。

公司自成立以来，坚持产品设计和服务质量共同发展，积极进取，精益求精，不断提高核心竞争能力，向着现代化国际性企业的发展方向不懈努力。

微电子事业部的主要产品有：太阳能扩散炉、程控扩散炉、微控扩散炉、扩散炉系统、氧化炉、退火炉、真空炉、氢气炉、气氛炉、硒化炉、真空烤盘炉、升华炉、IGBT焊接炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、低压化学气相沉积设备（CVD炉）、高精度智能温度控制仪和替代进口的扩散炉炉体等，同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。

自动化事业部的主要产品有：PLC控制柜、变频柜、温度控制柜、低压成套开关柜、污水处理系统、恒压供水系统、煤矿洗煤系统、自动浮选系统等各种计算机系统集成项目。

励精图治，发愤图强，致力于建立一个诚信，专业，创新的自主品牌，晶伏华控人的梦想是：走出中国，走向世界，做国内自动化行业最好的品牌，做行业内最令员工向往的企业。

10、青岛育豪微电子设备有限公司

青岛育豪微电子设备有限公司是集科研、制造、销售、服务为一体的高新技术企业,主要从事微电子工艺设备，太阳能光伏设备及高精度自动控制系统的设计、制造与服务。经青岛市委、市政府批准，被青岛工商行政管理局视为守合同、重信誉单位。

公司坐落于青岛市城阳区，地处跨海大桥胶州湾高速，地理交通十分便利，厂房面积5000平方米，固定资产5000多万元。有高级工程师5名，工程师10名，技术员20名，人员总计100多名。

公司的主要产品有整机类：半导体技术专用工艺设备，电子元器件专用工艺设备，集成电路工艺设备，太阳能电池片专用工艺设备，LED工艺设备，砷化镓工艺设备，纳米材料工艺设备，磁性材料工艺设备，航空航天及国家军工单位专用的工艺设备，产品种类多达三百多个。备件类有：专用引进国外扩散炉提供加热炉体控温仪表改造。特别是在缩小扩散炉类与国外差距方面，公司得到业内专家大力支持与协助，完全代替进口设备。公司已成为专业制造半导体工艺设备，砷化镓工艺设备，航空航天及国家军工单位专用的工艺设备的知名企业。产品覆盖全国31个省、市、自治区、直辖市。

育豪公司已于2007年通过GB/T19001-2000(ISO9001:2000)质量管理体系认证，以及青岛市重合同守信誉企业。

育豪公司积极参与市场竞争和国际合作，为国家863计划等重大科技攻关项目中做出了突出贡献。不但为国有大中型企业服务，同时也为合资、独资等外资企业服务。

育豪公司始终坚持“质量是企业的生命，诚信是立足的根本，服务是发展的保障”的经营方针，始终保持诚信本色，始终坚持不断创新，时时刻刻把客户的需求放在首位，赢得了客户良好的赞誉。

6、济南力冠电子科技有限公司

济南力冠电子科技有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业厂家，产品广泛应用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池、LED生产设备,材料热处理设备，晶体生长设备等领域，以优质的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。

公司技术力量雄厚，各类专业技术人员齐全，同时可根据用户的不同需求进行设计和开发，并且具备改造，装备国外设备的能力。公司既可提供微细加工生产过程的全套设备，又可独立提供其中的单一设备，还可进行这些设备的各种工艺实验。目前的产品主要有：氧化/扩散炉、低压化学气相沉积设备、RTP快速退火炉、LED合金/活化炉、真空退火炉、真空烤盘炉、砷化镓晶体生长炉VGF/VB(HGF/HB)、区熔炉、液相外延炉、蓝宝石退火炉、锑化镓晶体(LEC)单晶炉、气氛炉、马弗炉、真空炉、太阳能闭管软着陆扩散炉，太阳能管式PECVD（等离子体增强化学气相沉积设备）、石英脱羟炉、真空钎焊炉、氢气炉、磁控溅射镀膜设备、化学气相淀积设备（PECVD）、干法刻蚀设备、非标真空设备等。这些产品主要用于科研机构、大专院校、相关生产企业和公司进行科学研究、教学、产品开发、生产。公司还利用自己的工艺设备示范线和工艺研究成果，开展在微细加工工艺方面的技术研究、技术培训与技术服务。

公司不断引进高新技术及专业人才，不断开发高新产品，进一步推动力冠向更高层次的发展，争创国内知名品牌。

本着注重科技创新、诚信共赢的经营理念，艰苦奋斗自强不息。质量是力冠的生命，提高质量永无止境。

7、青岛华旗科技有限公司

青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司，建于1993年)，为专业半导体工艺设备及先进材料专用设备研发制造厂家。致力于为半导体集成IC电路分立器件、MEMS、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料厂家提供先进的专用设备，工艺涵盖化合物半导体晶体生长（及提纯、合成等）、外延、薄膜淀积（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化扩散（包括退火合金含工艺及快速退火工艺等）、真空烧结等工艺。半导体工艺设备覆盖三代半导体材料--硅、砷化镓、氮化镓等，高性能磁性材料真空设备（钐钴、钕铁硼等）。同时承担了部分国家863项目（如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等）及相关的国家重点项目等。

主要产品：氧化扩散炉系列、LPCVD系统、PECVD系统、HVPE系统、MOCVD系统、RTP快速热处理、气瓶柜、半导体尾气（废）处理SCRUBBER，真空热处理炉、链式炉系列、扩散炉体系列等。

9、青岛晨立电子有限公司

青岛晨立电子有限公司是集科研、制造、服务为一体的高新技术企业。公司地处即墨市，交通便利，环境优美，周围的完善配套加工为公司成长和发展提供了优越的条件。目前公司有高级工程师2名，工程师4名，技术员6名。公司本着和谐、共赢，以质量求发展、以诚信为根本、以客户为中心、以用户满意为最终目标的企业方针，以优质的产品，优良的服务，优惠的价格竭诚为新老客户服务

公司主要产品有：4"-8"扩散炉系列、真空炉系列、LPCVD系列、扩散炉炉体系列、温度控制器系列、链式隧道炉系列及台湾LPCVD、THERMCO、ASM、BRUCE等国外设备、配件代理。其中，公司自主研发的扩散炉炉体，异型加热炉体采用特殊工艺加工而成，具有使用寿命长、温度高、恒温区精度高等诸多优点，已广泛应用于各系列产品中。

8、株洲众欣科技发展有限责任公司

株洲众欣科技发展有限责任公司成立于2001年，公司创办人、董事长罗喜梅女士自1996年即开始磁流体动密封技术的研究，是国内把磁流体密封技术应用到真空领域并实现产业化生产的第一人，是中国磁流体密封装置工业化生产的开创者。公司拥有多名国内最早从事磁流体密封装置设计和制造的技术骨干，也是国内真正掌握了磁流体制备核心技术，并拥有成龙配套完整检测手段的生产研发型企业，主要应用领域由最初的硅材料制备扩展到真空镀膜、离子注入、液晶显示、中高压负荷开关等行业。

随着公司的发展壮大，公司的综合实力在不断提升，2007年相继成功研发首套部件——单晶硅炉上下传动部件和首台整体设备——气旋式微控高温扩散炉，实现了由零件制造者向高精度设备制造厂家的转变！

强烈的创新精神助力公司不断成长，发展至今公司已拥有二个独立事业部：真空技术事业部和成套设备事业部。真空技术事业部继续专注于磁流体密封及其衍生产品的研发、制造、服务工作；成套设备事业部致力于精细抛光机、扩散炉、等离子刻蚀等电子行业系列设备的研发和推广工作。

公司坐落于湖南省株洲市国家级高新技术产业开发区栗雨工业园内，东靠湖南第一大河湘江，北邻京港澳高速公路，株洲环城高等级公路分别从厂区南北、东西横贯而过；纵横贯通的铁路、航空、国道、水路运输也均在市区内外尺尺之遥。其交通之便利，环境之优美，给公司的发展和壮大创造了得天独厚的优越条件。